基于有限元法和色散COM模型的声表面波滤波器联合仿真

作者：郑泽渔; 杜雪松; 董加和; 陈正林; 马晋毅

来源：压电与声光, 2023, 45(02): 165-168.

• 声表面波(SAW)滤波器
• 全波仿真
• 分层级联
• 遗传算法

针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题，该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台，结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术，利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器，色散COM模型优化设计纵向耦合谐振器，实现了任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的正向设计与优化。通过42°Y-XLiTaO3常规SAW滤波器的优化设计与研制，设计优化结果与实验结果吻合较好，验证了该方法的有效性和可行性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所