摘要

<正>问题描述传感器作为信息获取的核心器件,在消费电子、航空航天、武器装备等技术领域都起着极为重要的作用。近年来,基于光学微腔力光耦合量子效应的新型传感器件,由于其极高的传感检测精度,并且还具备微纳芯片化集成制造的潜力,逐渐引起了科学家们的关注。光学微腔作为一类采用微纳制造技术加工而成的基本光学功能单元,其结构对光波在时间和空间上具有极强的频率选择作用及局域增强作用。新型的光学材料及高精度微纳制造技术的发展,基于该