分子层沉积纳米薄膜的现状和发展

作者：陈谦; 杨丽珍; 刘忠伟; 张海宝; 陈强^*

来源：真空, 2021, 58(05): 26-31.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.03

• 分子层沉积技术
• 原理
• 薄膜
• 应用

随着微电子技术、锂离子电池和太阳能电池等行业的发展,人们对聚合物薄膜,尤其是纳米级聚合物薄膜的要求也越来越高。在传统的沉积方法不能满足要求的条件下,找到新的沉积聚合物的方法势在必行。分子层沉积(MLD)是一种类似于原子层沉积的技术,它可以精确控制聚合物膜的厚度、组成、形貌和保形性。因此,MLD可以成为制备聚合物薄膜的一种新方法。本文综述了分子层沉积的原理和方法,以及在薄膜领域的发展和应用,最后给出了分子层沉积技术未来发展所面对的挑战和展望。

• 单位
  北京印刷学院