一种精密测量显示控制系统的设计

作者：郭嘉昒; 何伟明; 钟伦超

来源：木材加工机械, 2012, (04): 19-21+39.

DOI：10.13594/j.cnki.mcjgjx.2012.04.005

• 精密测量
• 光栅尺
• 微动平台
• 反馈控制
• 设计 precision measurement
• grating ruler
• Micro platform
• feedback control
• design

精密测量技术是精密工程领域的一项重要研究内容。本文利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制。为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反馈系统,测量软件上进行闭环,一键设定到位,精度能达到0.2μm,适合于各种单自由度或多自由度小载荷精密移动领域。

• 单位
  四川科技职工大学