超纯氮气纯化器的稳定性因素分析

作者：刘松青; 刘君伟; 李文豪; 霍金虎; 赵冰

来源：集成电路应用, 2022, 39(02): 42-43.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.02.015

• 氮气纯化器
• 稳定因素
• 温控系统

阐述氮气纯化器为多部份组成设备，对每一组成部分定期维护可提前发现问题，对特定的组成部分做定期保养可降低该组成单元的故障率，提高氮气纯化器的稳定性。

• 单位
  大连华邦化学有限公司