DVD用半导体激光器规模化生产中的关键问题

作者：陈良惠; 马军; 邱海波; 李玉璋; 郭良; 曹青; 唐宽平; 谢士金; 黄志平; 徐翔; 何德毅; 孙睦光

来源：光机电信息, 2004, (08): 1-7.

• 激光器
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• DVD
• 激光二极管

总结了DVD用半导体激光器规模化生产的关键问题:外延结构设计问题;前工艺问题;后工艺问题和规模化生产中的产品性能检测和老化筛选问题。