针对视觉检测系统大视场、高分辨率、高对准精度等指标需求,建立了一套普遍适用的精度分析模型,识别检测系统误差来源,获取关键部件性能参数,作为光学设计、机械设计、算法设计、光机集成的重要依据。经测试,系统实际定位精度、重复精度均处于精度预算以内,方便分析并解决生产中出现的问题,证实了精度分析模型的可行性,也为更高精度的视觉检测系统提供了有效的研究方法。