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摘要
本发明涉及一种超声探头装置及调整方法。所述装置包括：基座,与动座呈上升或下降的聚焦运动至与当前工艺下的探头匹配的聚焦升降位置点；承片台,承载待检测器件；反射式探头对位部件,参照与承片台对应的显示装置的成像数据,调节其定座相对于其X转座中的凹槽产生线性移动,以使得X转座相对于定座做定心摆动至相应的位置,并自行锁定、紧固X转座；以及调节X转座相对于其Y转座中的凹槽产生线性移动,以使得Y转座相对于X转座做定心摆动至相应的位置,并自行锁定、紧固Y转座；反射式探头,其与信号源套筒固定连接,以及其被夹持部件夹持固定连接于动座。因此,本发明的超声探头装置可用于反射式探头的精确对位调整,显著提高了检测效果。
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