多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构

作者：揣荣岩; 白羽; 吴美乐; 代全; 靳晓诗

来源：仪表技术与传感器, 2013, (01): 1-3+15.

• 加速度传感器
• 多晶硅纳米膜
• 压阻式
• 超薄微梁
• 谐振频率 acceleration sensor
• polysilicon nanofilms
• piezoresistive
• ultra-thin micro-beam
• resonant frequency

随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中,普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾。为此,采用多晶硅纳米膜作应变电阻,设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构。这种结构的设计改善了灵敏度与谐振频率之间的矛盾,使两者乘积值提高了30余倍,从而使压阻加速度计的性能得到大幅提升。

• 单位
  沈阳工业大学