太赫兹在片S参数测量串扰修正方法研究

作者:刘晨; 王一帮; 吴爱华; 杜静; 张立飞
来源:微波学报, 2021, 37(02): 66-69.
DOI:10.14183/j.cnki.1005-6122.202102012

摘要

为修正太赫兹在片S参数测试时探针间串扰误差,提出了一种包含串扰的新型误差模型,以及基于此误差模型的校准方法。该方法分别对待校准和测试时的串扰误差。基于这一概念,开发了一种新型12项误差模型,将串扰误差视为与被测件(DUT)并联的独立二端口网络。在测量DUT前通过测量一对长度与DUT相同的开路标准实现对串扰误差的表征并移除。实验证明,在140~220GHz频率范围内,使用新方法校准后测量10 dB衰减器,与没有串扰校正的传统12项误差模型相比,220 GHz时传输系数大约提高了1 dB。