Zn_(1-x)Mg_xO薄膜p型导电和光学性能

作者：张霞; 李效民; 陈同来; 于伟东; 高相东; 张灿云; 赵俊亮

来源：发光学报, 2006, (04): 503-508.

• 超声喷雾热分解
• p型Zn1-xMgxO薄膜
• 导电性能
• 光致发光 USP
• p-Zn_(1-x)Mg_xO film
• electrical properties
• PL

采用超声喷雾热分解(U ltrason ic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶S i(100)衬底上制备了ZnO,Zn0.81Mg0.19O,N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜。以X射线衍射(XRD)、场发射-扫描电镜(FE-SEM)、霍尔效应(Hall-effect)、光致发光(Photolum inescence,PL)谱等手段研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性能、光学性能和带隙变化。电学测试结果表明,未掺杂ZnO及Zn0.81Mg0.19O薄膜为n型导电;而N-A l共掺杂...

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院上海硅酸盐研究所; 高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室