<正>近年来,先进制程、光刻机等半导体领域专业词汇频频见诸媒体,成为科技投资领域热议的话题。但评判芯片的先进制程是否成功,良率(即一片晶圆上合格芯片与所有芯片的比例)才是最为重要的一个指标。对于芯片企业来说,良率直接影响了成本和利润;对于晶圆代工厂来说,良率更是他们赖以生存的根本。因此,一直以来,良率都是整个半导体产业链的核心问题和重要指标,它不仅反映了生产线的技术价值,也是持续改进工艺的量化依据。