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摘要
通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量，能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量。设计了一种基于碳纳米管(CNT)电子源的计量级电离真空计，构建了物理模型，模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数，并分析了不同的电子发射分布、电极电压和制造安装公差对灵敏度稳定性等关键参数的影响。该真空计的理论计算灵敏度为0.251 7 Pa-1，标准偏差为7.753 8×10-5Pa-1。
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通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量，能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量。设计了一种基于碳纳米管(CNT)电子源的计量级电离真空计，构建了物理模型，模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数，并分析了不同的电子发射分布、电极电压和制造安装公差对灵敏度稳定性等关键参数的影响。该真空计的理论计算灵敏度为0.251 7 Pa-1，标准偏差为7.753 8×10-5Pa-1。
