一种太赫兹多模场效应管探测器

作者：朱凯强; 孙厚军; 肖钰; 秦华; 赵国强; 王翊坤

来源：2022-07-15, 中国, CN202210830079.5.

本发明申请公开了一种太赫兹多模场效应管探测器,太赫兹多模场效应管探测器包括芯片,通过设置从下到上依次为衬底、隔离层、沟道层、势垒层和电极层的芯片,在芯片两侧设置天线探针,并通过电源引线将栅极与栅极电压输入连接、将源极接地,通过中频引线将漏极的中频信号输出,结合平面传输线克服了传统的太赫兹探测器结构尺度小、制备难度大的问题；通过设置平面传输线,增强了探测器对二维电子气的调控能力；通过设置天线探针,增强了探测器对太赫兹信号的耦合接收能力,提高了探测器的性能。本发明可广泛应用于探测器技术领域。

• 单位
  北京理工大学