非制冷微测辐射热计的热学设计与分析

作者：马铁英; 李铁; 王跃林

来源：红外与激光工程, 2007, (06): 920-923.

• 微测辐射热计
• 电压灵敏度
• 热时间常数
• 热学设计 Microbolometer
• Voltage sensitivity
• Thermal time constant
• Thermal design

电压灵敏度和热时间常数为表征微测辐射热计热性能的两个重要参数,热绝缘结构尺寸是决定性能参数的首要因素。首先采用解析法计算,并分析了这两个性能参数随结构尺寸改变的规律,确定一组能兼顾电压灵敏度及热时间常数的结构尺寸优化值,再利用有限元分析法对此优化结果加以模拟和验证,为下一步微测辐射热计的研制提供了可靠的理论依据。