主要介绍了针对晶圆表层光刻胶的涂覆与刮边工艺,以及在研发过程中对生产工艺的总结。实践表明,该设备的研发成功满足了客户实现自动化生产的需求,有效提高了现场的生产效率,大大减少了人工成本,得到客户现场的一致好评。