晶圆表面光刻胶的涂覆与刮边工艺的研究

作者：金敏; 王芳

来源：机械管理开发, 2020, 35(11): 55-56.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1134/th.2020.11.022

• 晶圆
• 光刻胶
• 自动控制
• 匀胶工艺

主要介绍了针对晶圆表层光刻胶的涂覆与刮边工艺,以及在研发过程中对生产工艺的总结。实践表明,该设备的研发成功满足了客户实现自动化生产的需求,有效提高了现场的生产效率,大大减少了人工成本,得到客户现场的一致好评。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所