科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
自动化物料搬运系统AMHS作为输送硅片的纽带，OHT作为AMHS的一部分，在运输过程中，可能会导致不同洁净间的交叉污染。为避免交叉污染的发生，利用CFD技术对品字型气流引导装置进行优化，得出合适的吸风风速；对三种吸风口的开孔率进行对比，风口端面的气流均匀性：σ25%>σ50%>σ100%；在不同吸风口端面尺寸下，进行风速对比，上截面0.3m×1.1m、下截面0.8m×1.1m的品字型AMHS系统，在t=20s，污染物排除效率达到75.2%。
-
单位中国电子系统工程第二建设有限公司
