化学溶液分解法制备Sm_(0.5)Bi_(3.5)Ti_3O_(12)铁电薄膜

作者：杨冬梅; 韩建儒; 袁春雪; 姜付义

来源：人工晶体学报, 2006, (06): 1265-1267.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2006.06.023

• 化学溶液分解法
• SmBT0.5
• 铁电薄膜 chemical solution deposition
• Sm_(0.5)Bi_(3.5)Ti_3O_(12)
• ferroelectric thin films

采用化学溶液分解法(CSD)在S i衬底上制备了Sm0.5B i3.5Ti3O12(SmBT0.5)薄膜。用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性,用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌;并研究了薄膜的存储性以及介电性能。结果表明,在700℃下退火1h得到了结晶性较好,表面致密的多晶薄膜。该薄膜显示了良好铁电和介电性能。

• 单位
  山东大学; 晶体材料国家重点实验室