光开关研究进展

作者：王刚; 明安杰; 梁静秋

来源：微纳电子技术, 2005, (04): 195-199.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2005.04.010

• 光通信
• 光开关
• 微光机电系统 optical communication
• optical switch
• MOEMS

概述了光开关的各种性能指标;综述了目前业已实用或正在研究的光开关阵列的各种制作技术,分析了其发展趋势;最后介绍了MOEMS光开关的结构和工作原理。

• 单位
  中国电子科技集团公司; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室