针对FeCo50软磁合金的应用现状,采用真空紧耦合气雾化方法制备粒径小于20μm的超细粉末;通过激光粒度仪、扫描电子显微镜及振动样品磁强计等分别对粉末的粒度、形貌及软磁性能进行表征。结果表明,在本实验工艺条件下制备的FeCo50超细合金粉末,平均粒径D50仅为5.75μm,且球形度好,软磁性能优异,饱和磁感应强度Bs高达2.22T,适用于通过注射成型工艺制备复杂精密的电子元器件。