原子光刻系统的设备庞大而复杂,在实验过程中温度及稳频光等参数都需要监视和控制。针对目前多采用人员值守的方式对设备进行操控导致实验效率低下的现状,介绍了原子沉积原理和原子沉积实验装置的构造及主要功能,提出了原子沉积实验装置中温度控制方案和稳频光的差分信号数据采集方案。通过完成对温度信号和稳频光信号等实验数据的自动采集与记录,实现了原子光刻系统的温控系统自动化和激光稳频系统的远程控制。该方案不仅提高了实验效率,而且对USB开发人员和自动化研究人员也具备一定的参考价值。
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