恒组分提拉单晶炉的设计与研究

作者：何晔; 武欢; 王旭光; 母江东; 邓力; 宋晓佳

来源：压电与声光, 2016, 38(02): 186-188.

• 恒组分
• 晶体生长
• 分凝
• 自动控制

晶体生长过程中由于溶质"分凝现象"的存在,会造成生长出来的晶体沿轴向不均匀分布,从而制约了大尺寸、超长、高均匀性晶体的生长。因此,该文设计了晶体自动生长控制系统和料棒自动补充控制系统,以保证晶体生长液面的高度不变,以及棒料添加组分与晶体组分一致,从而克服晶体生长过程中"分凝现象"的影响,也为晶体生长界面形状的稳定性控制奠定了可靠的基础。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所