膜厚对溶胶-凝胶法制备Al、Ga共掺杂ZnO薄膜性能的影响

作者：程志敏; 孙宜华; 方亮; 叶林龙; 黄龙; 汪涛

来源：三峡大学学报(自然科学版), 2018, 40(03): 91-95.

DOI：10.13393/j.cnki.issn.1672-948x.2018.03.020

• 溶胶-凝胶旋涂法
• 薄膜厚度
• GAZO薄膜
• 光电性能

采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备不同膜厚的Al、Ga共掺杂透明导电ZnO薄膜.其他参数一定的情况下,通过控制旋涂次数得到不同厚度的薄膜,研究了薄膜厚度对GAZO薄膜的物相结构、表面形貌以及光电性能的影响.实验结果表明:所制备的GAZO薄膜均为六方纤锌矿结构多晶薄膜.随着膜厚的增加,GAZO薄膜(002)衍射峰强度增强,晶粒尺寸变大,薄膜结晶质量提高.在可见光范围内薄膜的平均光学透过率大于88%,薄膜电阻率随膜厚的增加逐渐减小.膜厚为10层(250nm)的GAZO薄膜光电综合性能最佳,其平均光学透过率高达98.5%,电阻率为4.9×10-3Ω·cm.

• 单位
  广西新未来信息产业股份有限公司; 材料与化工学院; 三峡大学