摘要
本发明公开了一种基于压电驱动和应变检测的力传感器标定装置,包括两组柔性位移放大机构、两刚性连接件、压电驱动装置、压电预紧螺钉、力输出检测部件;两组柔性放大机构之间通过刚性连接件进行连接,形成环形位移放大机构,压电驱动机构放置在两组放大机构中间;力输出检测部件位于前组放大机构的中心块上,包含刚度较大的支撑梁、刚度较小的固支梁和四个应变片;装置安装孔位于后组放大机构的中心块上;本发明通过柔性放大机构对压电驱动装置的精密位移进行放大,推动力输出检测部件向被标定力传感器施加力载荷,标定装置中的应变片组成惠斯通全桥电路将所加载力的大小转换为电压输出,实现对所加标定力的检测,同时实现了力加载和检测功能。
- 单位