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摘要
本发明属于表面处理的技术领域,公开了一种Cr/CrN/CrCN/Cr-DLC多层复合自润滑薄膜及其制备方法。所述薄膜材料由依次叠加的Cr层、CrN层、梯度分布的CrCN层以及DLC层所构成。将预处理后的304不锈钢基体放入镀膜设备基体安装架上,以安装在炉体内壁上的高纯C靶和Cr靶作为碳源和相应金属掺杂的来源,将高纯氩气和乙炔通入真空室,其中氩气作为主要离化气体,乙炔为薄膜引入氢元素提升薄膜质量,采用了梯度过渡层的设计方法,不但提高了薄膜的结合力,又保证了薄膜的耐磨性能和减磨性能的提高。本发明的高适应能力的过渡层,有利于DLC薄膜在各类基材上的应用。
- 单位
