碳化硅表面锌的吸附及其热氧化的同步辐射光电子能谱研究

作者：徐彭寿; 孙柏; 邹崇文; 武煜宇; 潘海斌; 徐法强

来源：核技术, 2006, (10): 725-729.

• 碳化硅
• 锌
• 氧化锌
• 热氧化
• 光电子能谱
• 同步辐射 SiC
• Zn
• ZnO
• Thermal oxidation
• Photoelectron spectroscopy
• Synchrotron radiation

利用同步辐射光电子能谱(Synchrotronradiationphotoelectronspectroscopy,SRPES)和X射线光电子能谱(X-rayphotoelectronspectroscopy,XPS)技术,研究了金属Zn在6H-SiC表面的吸附和热氧化以及ZnO/SiC的界面形成过程。研究结果表明,在SiC表面沉积金属Zn的初始阶段,Zn可以夺取SiC衬底表面残留的氧并与之成键。随着Zn覆盖度的增加,表面具有金属特性。在2.0×10-4Pa的氧气氛中180℃温度退火下,覆盖的Zn会被部分氧化形成ZnO,还有部分Zn因其在真空中的低蒸发温度而逸出表面。在同样的氧气氛中600℃温...

• 单位
  中国科学技术大学