一种晶圆自动光学检测系统的混合路径规划算法

作者：肖钰坤; 张文涛; 杜浩; 王秀秀

来源：现代电子技术, 2022, 45(18): 11-16.

DOI：10.16652/j.issn.1004-373x.2022.18.003

• 晶圆检测
• 光学检测系统
• 晶圆缺陷
• 视场分配
• 增益视场
• 动态调整
• 路径优化

为解决晶圆自动光学检测系统中传统的路径规划算法效率偏低的问题，文中提出一种混合路径规划算法，以实现视场分配和路径优化的综合优化。针对传统算法在视场分配时视场的位置固定导致视场数量过多的问题，文中根据视场和视场内晶圆缺陷的物理尺寸提出增益视场的概念，改进迭代自组织数据分析法，实时动态调整增益视场和视场的位置，使视场能覆盖更多的缺陷，从而有效地减少视场分配的数量；视场分配结束后，以视场中心点为路径节点，采用收敛速度快的局部择优算法进行路径优化。实验结果表明，与传统算法相比，混合路径规划算法规划的路径长度减少50%左右，能够有效地提高晶圆自动光学检测系统的工作效率。

• 单位
  桂林电子科技大学; 自动化学院