一种薄膜压力传感器及其制造方法

来源：传感器世界, 2020, 26(04): 52.

<正>申请号:201910486990.7【公开号】CN110108396A【公开日】2019.08.09【分类号】G01L1/20【申请日】2019.06.05【申请人】辽宁尚泽电子科技有限公司【发明人】吉晨阳;丁伟;杨玉卓;张晓奕【摘要】本发明公开一种薄膜压力传感器及其制造方法,薄膜压力传感器安置在汽车座椅的座垫泡棉与座垫表皮包