测量系统分析在集成电路测试中的应用

作者：王菲; 傅铮翔

来源：电子质量, 2016, (09): 30-38.

• 测量系统分析(MSA)
• 集成电路(IC)测试
• 重复性
• 再现性

测量系统分析(MSA)是六西格玛管理的一项重要内容。在产品的质量管控中,高质量的测量数据,对产品的分析及改进有很大的帮助。在集成电路(IC)测试中,为了确保测试的准确性,获得高质量的测试数据,就需要对的测试系统进行充分的分析。该文介绍了测量系统分析方法,着重介绍重复性和再现性研究、分析,并通过实例说明IC测试中的测量系统分析的应用。并根据测量系统能力的评价规则对所分析的测试系统能力进行评价,判断测量系统是否满足IC测试要求。

• 单位
  中国电子科技集团公司第五十八研究所