微电子工艺中的清洗技术现状与展望

作者：温晓霞

来源：电子技术与软件工程, 2015, (05): 130.

• 微电子
• 工艺
• 清洗技术

本文通过介绍微电子清洗技术对当前微电子行业发展的重要性,并在分析微电子清洗技术的原理、现状的基础上,对未来微电子清洗技术的发展提出了些许建议。

• 单位
  广东海洋大学寸金学院