太赫兹合成孔径雷达(SAR)系统或者搭载平台的微小高频振动会导致图像结果产生若干虚假点,严重影响图像质量.针对传统补偿方法对这种高频振动误差补偿存在的局限性,提出一种基于小波滤波的补偿方法.该方法首先对回波信号进行相位提取,然后应用小波滤波方法分离得到高频振动误差,最后对回波信号进行补偿.同时,分析了该方法的距离向空变误差和方位向空变误差,推导出了适用于小波滤波的条件.仿真结果验证了该方法的有效性.