模拟退火算法与遗传算法在光谱椭偏数据处理中的应用比较

作者：周全; 黄云

来源：应用光学, 2008, 29(03): 385-389.

DOI：10.3969/j.issn.1002-2082.2008.03.015

• 椭圆偏振测量术
• 模拟退火算法
• 遗传算法
• 数据处理

分别利用模拟退火算法和遗传算法在MATLAB 6.5中编写了一个数据处理程序,用来处理VA SE椭偏仪在光谱范围为500 nm~900 nm所测得的椭偏数据。根据VASE椭偏仪的光度法原理,对评价函数方程进行了改进,并选择合适的退火参数和遗传参数进行计算,得到的数据处理结果与仪器处理结果基本一致。最后对两种算法在解决该类问题上的优劣进行了比较。

• 单位
  国防科学技术大学