(1-x)PbZrO3-xBaTiO3薄膜的制备及储能性能

作者：王朝霞; 王超; 焦晓飞^*; 李彦岗

来源：微纳电子技术, 2023, 60(04): 633-639.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2023.04.019

• 弛豫铁电薄膜
• 电介质电容器
• 电滞回线
• 储能性能
• 介电强度

电介质电容器在脉冲功率领域具有广阔的应用前景，其储能密度和储能效率的提高是目前研究的热点。通过PbZrO3(PZO)和BaTiO3(BTO)两相固溶的方式，制备(1-x)PZO-xBTO(x为0、0.1、0.2、0.3和0.4)固溶体薄膜，旨在提高介电强度，从而改善其储能密度和储能效率。结果表明：随着BTO含量增加，薄膜的晶粒尺寸逐渐减小，且薄膜由反铁电体逐渐转变为弛豫铁电体，导致其介电强度提高。当x=0.3时，(1-x)PZO-xBTO薄膜具有最大的可恢复储能密度，为11.62 J/cm3,较纯PZO薄膜提高了31.6%。当x=0.4时，薄膜储能效率达到62.3%,较纯PZO薄膜提高了62.7%。

• 单位
  山西职业技术学院; 沈阳工业大学