无应力平面检测干涉仪在平晶检测中的应用

作者：胡学刚

来源：仪器仪表标准化与计量, 2018, (06): 43-45.

• 平晶
• 平面度
• 干涉仪
• 检测

平晶主要用于检测工作面的平面度、直线度及研和性等参数。目前常用等厚干涉仪配合标准平晶对工作平晶平面度进行检测,此种方法的不足是影响检测结果的因素较多,且效率不高。本文介绍了无应力平面检测干涉仪检测平晶平面度的方法,通过比较体现了其可靠性及优势。