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摘要
针对磁悬浮转子真空计的永磁-电磁混合磁悬浮系统，考虑其磁悬浮结构中的永磁体影响，计算了磁悬浮轴向的磁场分布，建立了混合磁悬浮系统的频域模型。设计了永磁电流刚度系数与永磁位移刚度系数，用来表征线圈电流、转子距下线圈的距离及永磁体参数对混合磁悬浮系统的影响，并依据这两个参数对悬浮系统的设计做出限制与规定。设计了模拟比例-积分-微分控制电路以进行悬浮控制。最后按照此控制模型在真空下用测量头进行压力测量实验。实验结果表明，根据设计的混合磁悬浮模型的线圈参数与安装位置，在模拟比例-积分-微分控制电路的控制下，可以完成9×10-5～1 Pa的压力测量。
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单位东北大学; 兰州空间技术物理研究所; 自动化学院
