一种柔性瞬态硅薄膜光电晶体管及制作方法

作者：陈大正; 张春福; 张家祺; 杜丰羽; 林珍华; 常晶晶; 习鹤; 张进成; 郝跃

来源：2018-08-08, 中国, ZL201810893511.9.

本发明公开了一种柔性瞬态硅薄膜光电晶体管,主要解决现有光电晶体管不具有柔性可穿戴与瞬态可降解性的问题,其自下而上包括衬底(1)、粘附层(2)、硅薄膜活性层(3)、金属电极(5)、二氧化硅钝化层(6),其中衬底(1)采用柔性瞬态氧化铟锡/聚乳酸衬底；硅薄膜活性层(3)与金属电极(5)之间设有二氧化钛插入层(4),以改善源漏极的欧姆接触；二氧化硅钝化层(6)上淀积有氧化锌种子层(7),为氧化锌纳米线的生长提供成核位置；氧化锌种子层(7)上生长有氧化锌纳米线(8),以减少光的反射,增加大角度入射光的吸收。本发明具有柔性和瞬态溶解的特性,可用于光通讯、物体检测、光耦合及柔性可穿戴与瞬态自销毁。

• 单位
  西安电子科技大学