报道科技成果切莫变成“自嗨文”

作者：赵永新

来源：发明与创新(大科技), 2018, (12): 6.

<正>新闻事件:11月29"红芯"日,中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目"超分辨光刻装备研制"通过验收,这是世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机。研发人员介绍,这台22纳米分辨率光刻机在加工大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器等纳米功能器件上具有明显优势。但是,这台光刻机要想应用于芯片,还要攻克一系列技术难题,距离还相当遥远。