压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的建模与实验

作者：路士州; 周凤岐; 任晨亮; 刘伟; 黄博

来源：北京理工大学学报, 2017, 37(09): 926-932.

DOI：10.15918/j.tbit1001-0645.2017.09.008

• 微喷阀
• 压电致动
• 位移放大
• 集总参数法
• 电子封装

为实现微电子封装领域各类胶体的精确微量分配,设计了基于菱形放大机构放大压电致动器位移的微喷系统,利用集总参数法建立了该系统的等效电器模型,通过实验验证了模型和仿真结果的可靠性,分析了系统参数对胶滴体积和脱离效果的影响.实验和仿真表明:撞针位移在0.30.5mm时为有利于喷射胶滴的范围内;针对3Pa·s黏度的胶体,当驱动气压在0.150.32MPa时,喷射体积与驱动气压成正相关趋势;随着黏度的增大,相同条件下可获取的胶滴体积不断减小,需要的驱动力不断增大;对于特定黏度的胶体,在合适气压范围内,调控分配频率可实现对微喷体积的调节.

• 单位
  机器人技术与系统国家重点实验室; 山东大学(威海); 哈尔滨工业大学