荏原AAS100WN真空泵自主维护

作者：陈白冰; 黄晓许; 曹珂; 高晓生

来源：电子工业专用设备, 2018, 47(06): 12-17.

• 自主维护
• 螺杆泵
• 主轴抱死
• 动平衡

PECVD工艺多是采用进口无油机械泵组获得生产工艺要求的真空工艺条件,根据真空泵组的基本原理与结构,分析了影响真空泵组使用寿命的主要原因。依据多年维修经验,编写了真空泵组自主维护工作流程与维护方法。维修后真空泵组可以稳定运行接近10000h。

• 单位
  中国空空导弹研究院