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摘要
设计了一种8 MW单极性脉冲磁控溅射电源,详细介绍了脉冲发生电路的拓扑结构及IGBT相关的关键技术。通过对所设计的8 MW单极性脉冲磁控溅射电源在Matlab中搭建Simulink模型进行数值仿真分析,然后在理论分析的基础上简化电路结构并搭建实验样机,在模拟负载条件下进行实验分析,得到了IGBT开关组均流、均压波形以及8 MW峰值功率输出波形,通过比较,实验结果与仿真数值分析波形基本一致。
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单位唐山标先电子有限公司; 长春工业大学; 电子工程学院
