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摘要
本发明公开了一种基于CMOS传感器的三维高灵敏度测微力计,是在由上盖板和圆筒体形成的圆筒形内腔中设置测力单元和感测单元；测力单元为一片铍铜簧片,其具有外固定环和通过弹性梁相连的中心盘面,铍铜簧片利用外固定环支撑在上盖板上,在中心盘面的上表面测力探头,在中心盘面的下表面设置第一平面反射镜,第一平面反射镜的反射面水平向下；感测单元是在圆筒形内腔中设置激光器、第二平面反射镜、聚焦透镜和CMOS传感器；激光器的出射光依次经由第二平面反射镜和第一平面反射镜反射后入射到聚焦透镜,聚焦后的出射光入射至CMOS传感器的感光面,以CMOS传感器的输出信号为测微力计的输出检测信号。本发明灵敏度高、量程可调、测量分辨率高、精度高。
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