摘要

<正>1965年,英特尔创始人之一戈登·摩尔曾总结道:当价格不变时,集成电路上可以容纳的元器件数目每隔约18个月便会翻番,性能也将相应提升。这就是我们今天耳熟能详的"摩尔定律"。这虽是一项经验性预测,却在一定程度上揭示了信息技术进步的速度,也在过去数十年间被微电子产业界奉为圭臬。可以毫不夸张地说,"摩尔定律"是现代社会最重要的"定律"之一。然而,随着如今半导体器件的特征尺寸趋近物理极限,先进制程的研发进度已然显著慢于"摩尔定律"的预期,