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摘要
基于高纯度的熔融石英坩埚的良好特性,在太阳能行业单晶硅制作的环节得到广泛应用,透明层气泡的大小以及分布规律等特征极大的影响了石英坩埚的使用周期和性能。主要研究距离石英坩埚内壁表面0.72mm处的气泡含量,首先提取彩色图像的R,G,B通道,分别对其进行基于可变阈值的细胞学习自动机边缘检测,获取气泡边缘图像,其次对气泡进行填充并应用形态学算法,最终通过分析气泡结构分别对非重叠和重叠气泡进行计数统计。并与canny算子、sobel算子和N.N.Misra提出的显微计算机视觉算法等检测结果进行对比。结果表明基于可变阈值的细胞学习自动机边缘检测算法在坩埚内壁气泡计数方面效果更优,准确率高达97.16%。
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单位通信与信息工程学院; 西安科技大学
