TFT-LCD工艺中黄斑不良的成因机理研究与改善

作者：张显; 陈帅; 郭剑伟; 贺新钢; 王文强; 陈卓; 魏永辉

来源：电子世界, 2021, (22): 32-33.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2021.22.015

<正>在TFT-LCD量产中，会出现各种Mura类不良，本文为解决在生产过程中出现的边角黄斑不良，首先对可能造成黄斑不良的工艺进行了大量的排查，最后锁定该不良出现在Cell成盒阶段。通过拆盒分析发现框胶内存在异物，异物将相应位置的Gap撑高，液晶填充增大，红光透过率提高，蓝绿光透过率降低且蓝光透过率降低比绿光更大，不良宏观显示发黄（黄斑不良）。利用拉曼（DXR2）对异物进行匹配，采用EDX对成分进行分析，确认异物就是固化的框胶。通过对框胶准备流程、框胶脱泡机设备参数、清洗流程等一系列措施的导入，将黄斑不良发生率从1.0%降低到0.03%

• 单位
  鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司