对于电子级多晶硅产品而言，其质量判断的关键在于材料表面金属杂质含量情况。就目前来看，当前电子级多晶硅为去除附着在表面的金属杂质，一般都采取以酸为主的清洗工序。通过妥善选择清洗液来控制电子级多晶硅表面金属杂质含量，以提升产品质量。基于此，本文就围绕电子级多晶硅，对其清洗液选择展开重点探讨，并分析影响电子级多晶硅清洗质量的因素，以供参考。
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