大口径非球面反射镜零位补偿器误差标定方法

作者：徐秋云^*; 孔令臣

来源：激光与光电子学进展, 2023, 1-11.

• 零位补偿器
• 干涉检测
• 计算全息片
• 相位函数
• 光线追迹

非球面反射镜通常使用零位补偿器配合干涉仪进行面形检测，因此零位补偿器的加工和装配精度直接决定了检测结果的可靠性。本文给出一种具备良好通用性的基于计算全息片（CGH）的补偿器误差标定方法。以一块Φ856mm、f/1.54的双曲面反射镜作为待测非球面镜，首先设计反射式CGH，运用光线追迹法得到CGH的相位函数，使其引入的球差与待测非球面主镜的法线像差相同，再由ZEMAX仿真计算验证该设计的正确性，并根据相位函数加工出主全息；在同一块玻璃基片上设计和加工对准全息带用于标定光路的调整。实验结果表明，所制作的CGH标定零位补偿器的精度达到λ/80(RMS)。可见对于大口径、快焦比的凹非球面反射镜，本文方法仍然适用，因此可用于指导多数正轴非球面镜的零位补偿器标定。

• 单位
  常州工学院