摘要
本发明涉及一种InGaAs材料、基于InGaAs材料作为沟道的MOS器件及其制备方法。该方法包括:选取Si衬底;生长第一Ge籽晶层;生长第二Ge主体层;加热整个衬底,并利用激光工艺对整个衬底进行晶化,激光工艺参数:波长为808nm,光斑尺寸10mm×1mm,功率为1.5kW/cm2,移动速度为25mm/s;冷却后在Ge/Si虚衬底材料上生长InGaAs材料。本发明采用激光再晶化(Laser Re-Crystallization,简称LRC)工艺可有效降低Ge/Si虚衬底的位错密度,提高后续生长的InGaAs材料质量。同时,激光再晶化工艺时间短、热预算低,可提升Si衬底上制备InGaAs材料整个工艺的效率。另外,InGaAs材料作为沟道的NMOS器件、InGaAs作为N沟道,Ge及应变GeSn作为P沟道的CMOS器件具有很高的电子和空穴迁移率,可显著提升晶体管的速度与频率特性,并降低电路整体的功耗。
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