In/Nb共掺杂TiO2薄膜结构特性的电子显微学研究

作者：路璐; 李博宸; 成绍鸫; 米少波^*

来源：电子显微学报, 2023, 42(06): 740-747.

• 二氧化钛
• 薄膜材料
• 掺杂
• 缺陷
• 界面结构

本文研究了In/Nb共掺杂TiO2(TINO)薄膜在LaAlO3(001)和m面α-Al2O3衬底上的生长行为和显微结构特征。研究发现TINO薄膜在LaAlO3衬底上呈现锐钛矿结构(A-TINO),在m面α-Al2O3衬底上呈现金红石结构(R-TINO)。薄膜与衬底的晶体学取向关系分别为：(001)[100]A-TINO//(001)[100]LaAlO3和■2O3。通过原子分辨率扫描透射高角环形暗场像技术确定了A-TINO/LaAlO3和R-TINO/α-Al2O3异质界面以及薄膜中孪晶和晶界的精细结构。本工作有助于理解TiO2基薄膜的外延生长行为以及掺杂元素在材料中的偏聚特征。

• 单位
  西安交通大学; 季华实验室