纳米计量的溯源与传递

作者：王岳宇

来源：宇航计测技术, 2010, (01): 75-79.

• 纳米
• 计量
• 溯源
• 扫描探针显微镜 Nanometer Metrology Trace SPM

介绍了纳米计量溯源到国际基本单位制(SI)的传递过程。回顾了国内外计量型扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)的工作原理及其溯源性。论述了目前主要纳米计量参数、溯源用标准样本的研究概况。

• 单位
  北京东方计量测试研究所