金刚石薄膜的发展及展望

作者：孔帅斐; 刘一波^*; 陈春晖

来源：超硬材料工程, 2020, 32(03): 32-36.

• 金刚石薄膜
• 半导体
• 元素掺杂
• 超导体

介绍了金刚石膜在原料、预处理和制备工艺方面的技术进展,总结了行业内对金刚石膜应用领域的探索,并对其发展趋势进行了展望。

• 单位
  钢铁研究总院; 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司